ECO SCAN

動作原理

動作原理

ECOSCANは、電磁駆動方式のMEMS（※1）光スキャナです。
図1.にその構成図を示します。可動板（表面にはミラー・コイルを形成）・梁・支持部を形成した単結晶シリコン基板の周縁部に永久磁石を配置することで、本スキャナが構成されます。可動板の外周部に形成したコイルに電流を流すと、永久磁石による磁界との相互作用で回転トルク（ローレンツ力）が発生します。その結果、梁の復元力と均衡する角度まで可動板を傾けることが可能です。ローレンツ力は電流に比例するため、その値を変化させることで可動板の傾きすなわち、光走査の角度（以下、振れ角）を定格の範囲内で自在に変えることが可能です。
図1.は2次元タイプですが、1次元タイプ（梁は一対）も用意しています。

動作原理
ECOSCAN是一個電磁驅動的MEMS※1）光學掃描器。 圖1.代表其組成圖。該掃描器的構造是在單晶矽基板的周邊放置永久磁鐵，在該基板上形成了一個可動板（表面上形成了鏡面和線圈）、波束和支架。當電流被施加到可動板周邊形成的線圈上時，會透過與永久磁鐵形成的磁場的相互作用，產生一個旋轉扭矩（洛倫茲力）。因此，可動板可以傾斜到一個與波束的恢復力達到平衡的角度。由於洛倫茲力與電流成正比，可動板的傾斜度，即光學掃描的角度（以下簡稱偏角），可以透過改變數值在額定範圍內自由改變。 圖1.顯示的是二次元類型，但也有一次元類型（有一對波束）。

※1） MEMS：Micro Electro Mechanical Systems の略。
電気と機械を融合した超小型システム。
半導体の製造技術を応用した微細加工技術で作られる。

*1 MEMS：Micro Electro Mechanical Systems的縮寫。
一種結合了電力和機械的超輕量型系統。
它是利用基於半導體製造技術的精細加工技術所製造的。

「ECO SCAN」は、コイルに流す電流の大きさ、流す向きを自在に変えることで反射方向を自由にコントロールすることができ、リサージュスキャンやラスタースキャンが可能になります。
リサージュスキャンとラスタースキャンを使い分け様々な製品の応用につなげていくことができます。

ECO SCAN可以透過改變流經線圈的電流大小和方向來自由控制反射的方向，實現李沙育掃描和逐線掃描。
李沙育掃描和逐線掃描可以分別用於各種產品應用