MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」 | ECO SCAN 製品ラインナップ
MEMS光學掃描器 | 產品陣容
MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」 ＞ 製品ラインナップMEMS光學掃描器 ECO SCAN ＞ 產品陣容
1次元タイプ
一次元類型
ESS112-2ｋHzESS112-2ｋHz |
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| ミラーサイズ | 4×4mm |
|---|---|
| 振幅 | ±20度（光学角） |
| 共振周波数 | 2kHz |
| ミラー材質 | Au |
ESS112-2ｋHz |
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| 鏡面尺寸 | 4x4mm |
|---|---|
| 振幅 | ±20°(光學角度) |
| 共振頻率 | 2kHz |
| 鏡面材質 | Au |
ESS115ESS115 |
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| ミラーサイズ | 4.5×5.5mm |
|---|---|
| 振幅 | ±30度（光学角） |
| 共振周波数 | 565Hz±7% |
| ミラー材質 | Au |
ESS115 |
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| 鏡面尺寸 | 4.5×5.5mm±0.02mm |
|---|---|
| 振幅 | ±30°(光學角度) |
| 共振頻率 | 565Hz±7% |
| 鏡面材質 | Au |
