MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」 | 製品ラインナップ
MEMS optical scanner ECO SCAN | ECO SCAN Lineup
1次元タイプ
一次元類型
ECO SCAN:ESS112-2kHz
スペック
規格
| ESS112-2kHz | |||
|---|---|---|---|
| 一次元／二次元 | 一次元 | 共振周波数 | 2175Hz±8% |
| 振幅（光学角） | ±20度（サイン波駆動時） | 駆動電流 | 25mAp-p以下（サイン波駆動時） |
| 抵抗値 | 200Ω±25% | 質量 | 8.9g±10% |
| ミラーサイズ | 4×4mm±0.05mm | ミラー部材質 | Au |
| ミラー反射率※ | 85%以上 (λ=670nm) | ミラー反り※ | PV=670nm以下（有効使用範囲φ3.8mm） |
| 価格 | 120,000円（税別） | ||
| ESS112-2kHz | |||
|---|---|---|---|
| 一次元／二次元 | 一次元 | 共振頻率 | 2175Hz±8% |
| 振幅(光學角度) | ±20度（當由正弦波驅動時） | 驅動電流 | 25mAp-p以下（當由正弦波驅動時） |
| 電阻值 | 200Ω±25% | 品質 | 8.9g±10% |
| 鏡像尺寸 | 4×4mm±0.05mm | 鏡面部材質 | Au |
| 鏡面反射率※ | 85%以上 (λ=670nm) | 鏡面翹曲※ | PV=670nm以下（有效使用範圍φ3.8mm） |
| 價格 | 120,000日圓（不含稅） | ||
※測定環境：温度25±5℃、湿度50±10%、気圧1005±5hPa
*測量環境：溫度25±5℃，濕度50±10%，氣壓1005±5 hPa
外形寸法図（単位：μm）
外型尺寸圖（單位：µm）
周波数-振幅特性（サイン波駆動）※
頻率-振幅特性(正弦波驅動)*
電流-振幅特性（サイン波駆動）※
電流-振幅特性(正弦波驅動)*
※参考特性
■使用上の注意
*參考特性
■使用須知
- 本デバイスには強力な磁石を用いているため、磁性体を近づけると急激に吸着しミラーを破損することがありますのでご注意ください。
- ミラー部が剥き出しになっているため、指やピンセットなどが接触しミラーを破損することがありますのでご注意ください。
- 本裝置使用強力磁鐵，如果磁性體靠近，就可能會迅速被吸引到裝置上，並損壞鏡面，敬請注意。
- 由於鏡面部分暴露在外，請注意手指、鑷子等可能會接觸到它並損壞鏡面。
